ekvivalentlainepikkus
change in surface topography height which corresponds to the scan length between two successive interference fringes in the coherence scanning interferometry signal near the maximum value of the modul, pinna topograafia kõrguse muutus, mis vastab koherentsustskanniva interferentsmeetodi signaali kahe järjestikuse interferentsriba vahelisele skannimispikkusele koherentsustskanniva interferentsmeetodi