aursadestuspindamisprotsess/-operatsioon, mille korral füüsikaliste meetoditega vaakumis aurustamise (takistus-, laser-, plasma- või elektronkiirkuumutus) või ioonpommitamisega väljalöödud ioonid sade, a vapor deposition process whereby the deposition species are vaporized by physical methods and transferred and deposited in the form of individual atoms or molecules on the surface (see: vapor deposi, процесс (операция), в случае которого(й) ионы, полученные в результате испарения физическими методами (электроконтактный, лазерный или электронно-лучевой нагрев) или катодным распылением, осаждают на