TMOS
type of thermal sensor consisting in a micromachined thermally isolated transistor fabricated using silicon on Insulator micro electro-mechanical system technology, soojus-/termotajuri tüüp, mis koosneb mikrotöödeldud ja termiliselt isoleeritud transistorist, mis on valmistatud ränil isolaatoril põhineva mikroelektromehaanilise süsteemi tehnoloogia abil