type of thermal sensor consisting in a micromachined thermally isolated transistor fabricated using silicon on Insulator micro electro-mechanical system technology, soojus-/termotajuri tüüp, mis koosneb mikrotöödeldud ja termiliselt isoleeritud transistorist, mis on valmistatud ränil isolaatoril põhineva mikroelektromehaanilise süsteemi tehnoloogia abil
type of thermal sensor consisting in a micromachined thermally isolated transistor fabricated using silicon on Insulator micro electro-mechanical system technology, soojus-/termotajuri tüüp, mis koosneb mikrotöödeldud ja termiliselt isoleeritud transistorist, mis on valmistatud ränil isolaatoril põhineva mikroelektromehaanilise süsteemi tehnoloogia abil
TMOS . Metroloogia terminibaas. Eesti Keele Instituut, Sõnaveeb 2026. https://sonaveeb.ee/search/unif//mea/TMOS/1/eng (26.10.2026)